ADL GG12/2000電源用于長光束源的直流電源

ADL離子源電源

對于離子源（Kaufmann 和 ECR）的作，可以使用特殊電源。根據(jù)要求，這些裝置還可以配備其他輸出電壓或輸出功率。所有電源均具有 AS 4 接口、Profibus、EtherCat 或 RS232/484 接口。

突出

在離子束和等離子體工藝技術中的廣泛應用

蝕刻、濺射等等

創(chuàng)新創(chuàng)新應用，例如微電子、光學和傳感器

ADL GG12/2000離子源電源用于長光束源的直流電源。

GG 03/1000，GG 08/1000-加速器

GG 12 / 2000, GG 12.1 / 2000 光束

GG 03加速器

輸出功率300W

輸出電壓最大1000 V

輸出電流300mA

功率消耗500 VA

指示電流和電壓的31/2位數(shù)字顯示

ADL控制

電流或電壓控制

操作模式

通過前面板或外部控制接口手動

設定值

0...100%的額定值電流和電壓

輸出精度

電流或電壓的標稱值的+/-1%

ADL GG 03.1加速器    應用于離子束和等離子體工藝技術中

輸出功率30W

輸出電壓最大1000 V

輸出電流300\mA

功率消耗100 VA

ADL指示

電流和電壓的31/2位數(shù)字顯示

控制

電流或電壓控制

操作模式

通過前面板或外部控制接口手動

設定值

0...100%的額定值電流和電壓

輸出精度

電流或電壓的標稱值的+/-1%

ADL GG12光束電源控制插座X3-接口AS4

輸出功率1200W

輸出電壓最大2000 V

輸出電流1mA

功率消耗1500 VA

ADL指示

電流和電壓的31/2位數(shù)字顯示

控制

電流或電壓控制

操作模式

通過前面板或外部控制接口手動

設定值

0...100%的額定值電流和電壓

輸出精度

電流或電壓的標稱值的+/-1%

ADL GG12/2000電源用于長光束源的直流電源